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研磨液废水怎么处理|研磨液废水如何处理

建设项目蓝本 某超大型半导体材料从而造成各个单位是在长半圆地区划分,重点出产晶圆和集成电路芯片。在出产全过程中,晶圆裁切和拋光分阶段引发许多磨研液废污水,日访问量释放量上涨约50吨。可能废污河中带有高溶度透明桌面物、废金属阴阳离子及可挥发增长剂,真接释放会对生态环境从而造成厉害污染问题,各个单位人们非常项目建设专科净化处理公用设施。 生活污水材料及特征 考虑液废渣基本原因于晶圆加工制作中的有机化学设备打磨(CMP)流程,基本弄脏物包含: 悬浮物小型颗粒物物 :二硫化硅、硫化铝等研磨抛光颗粒物,粒度分布在0.1-1μm,溶度达2000mg/L。 彩石正离子 :铜、铁、锌等,来自五湖四海抛光处理垫偏磨及晶圆外层彩石层,铜亚铁离子渗透压约50mg/L。 有机质调用剂 :还有外壁抗逆性剂、脱硫剂等,COD值在800-1200mg/L。 耐酸酸性产品 :pH值变化大,常在2-11之中。 净化处理加工制作工艺 流程步骤 面对电镀废水特质,所采用“预进行操作+生物化学+深入进行操作”三人组合工艺流程: 调低池 :平衡水体蓄水量,移除腐蚀性调理pH至碱性。 沥青混凝土石雕文化沉淀 :加药系统PAC(缩聚氯化铝)和PAM(pp聚丙烯酰胺),去掉自动隐藏物和电解质溶液,沉降后SS去掉率>90%。 催化剂的作用防氧化 :利用Fenton采血管(H₂O₂+Fe²⁺)光降解有机的“化学添加剂,COD清除率达60%。 生物学工作 :MBR膜微生物生理反应釜进几步光降解结余巧妙物,COD减至100mg/L下类。 正离子传递 :转用光敏树脂活性炭吸附铜阳离子,满水后铜含氧量<0.5mg/L。 砂滤+特异性炭过滤系统 :确保安全冒水清清的,达到《污水进行排放整体进行排放要求》(GB8978-1996)两级要求。 以后效果好 控制系统自动运行不稳定性后: SS<10mg/L,COD<60mg/L,铜铝离子<0.3mg/L。 回收率达40%,余下未达标排污,年增多废水处理排污1.6万吨。 净化处理成本投入约15元/吨,远降到企业峰值。

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