该厂为85英寸晶圆生产的线配合的超注射用水操作系统，每次带来含硅废液150吨。废液中虽无天价属，但硅量高易积垢，且热敏电阻率需做到18MΩ·cm可以回收利用。原始解决加工制作工艺 是无法充分考虑新实行的《光电工业企业水污染破坏物废气进行排放规定》（GB39731-2020）比较废气进行排放标准值。 工业废水组成成分优点和缺点 大部分破坏物 ：胶体溶液硅（200-300mg/L）、颗粒肥料硅（粒度0.1-1μm） 特异标准要求 ：TOC<10μg/L，硼含锌量<5μg/L 水质量属性 ：低导电率（<50μS/cm）但硅有机化合物特性复杂化 进行处理施工工艺环节 研发按照"梯级膜离心分离+电去铁离子"组合构成工序： 微滤预工作 ：1μm工业陶瓷膜过滤大科粒硅，通量提升80LMH 阳离子交流聚酯树脂 ：D201大孔树酯条件性过滤硅酸分子式 二次元RO设计 ：一是段回笼率60%，2.段采取高脱硼膜电气元件 EDI电去阳离子 ：电压电流体积密度2A/m²，不断地避开残留正离子 UV紫外线杀菌消毒 ：254nm红外光谱线服用量40mJ/cm² 科技创新举措 设计规划常用阻硅剂（有机肥料胺类pp物），廷缓膜空气污染时间3倍 EDI功能模块多元化流道设计的概念，硅出掉率不断提升至99.8% 线硅分享仪（在线测量领域0.1-500μg/L）构建精淮把控 运动初步成效 经第三通方判断： 总硅从280mg/L高于0.05mg/L 硼的含量从8μg/L调至0.3μg/L 设计收旧率从原40%加快至68% 膜更新时期加长至5年，年运营料工费降低35%